Knowledge Management System Of Institute of Oceanology, Chinese Academy of Sciences
| 改变过渡层碳靶功率在铜上沉积类金刚石膜的研究 | |
王宁; 王静 ; 郑福卫; 武玉民; 侯保荣
| |
| 发表期刊 | 石油化工高等学校学报
 |
| ISSN | 1006-396X |
| 2015-06-15 | |
| 出版年 | 2015 |
| 卷号 | v.28;No.113期号:03页码:93-98 |
| 文献类型 | CNKI期刊论文 |
| 摘要 | 类金刚石膜具有硬度高、摩擦系数低、耐腐性强、稳定性高等优点,是提高铜耐腐性的理想材料,但铜与类金刚石膜之间的结合力差。通过制备TixCy过渡层,采用磁控溅射物理气相沉积与化学气相沉积法,通过改变过渡层碳靶功率成功在铜基体上沉积类金刚石膜。并对金刚石膜进行拉曼光谱测试、划痕实验和电化学实验分析。结果表明,所制备碳膜具有典型的类金刚石结构,膜与基体之间的结合强度大,过渡层碳靶溅射功率为200 W时所制备的类金刚石膜对铜基体的保护作用最好。 |
| 关键词 | 铜基体 类金刚石膜 拉曼光谱 划痕法 耐腐蚀性 |
| CNKI专辑号 | B; |
| CNKI专辑名称 | 工程科技Ⅰ辑; |
| CNKI专题号 | B022; |
| CNKI专题名称 | 金属学及金属工艺; |
| 分类号 | TG174.4 |
| 语种 | 中文; |
| 资助项目(基金） | 国家海洋腐蚀防护工程技术研究中心资助(2011FU125X13) |
| 文献类型 | CNKI期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.qdio.ac.cn/handle/337002/190006 |
| 专题 | 中国科学院海洋研究所 |
| 作者单位 | 1.青岛科技大学化工学院 2.中国科学院海洋研究所海洋环境腐蚀与生物污损重点实验室 3.青岛科技大学化学与分子工程学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王宁,王静,郑福卫,等. 改变过渡层碳靶功率在铜上沉积类金刚石膜的研究. 2015. |
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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